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硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体
硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体
每年数以千吨计的硅烷在工厂里被加工成超纯半导体硅，数以百吨计的气体被用于制造各种各样的新材料和新器件。硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。
具体硅烷介绍，可以参见百度百科。据了解，我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达4600亿美元。其中一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。硅烷既可用于制造大规模集成电路芯片，又可用于生产多晶硅，经济效益很高。
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