光刻机、质子刀与华中科技大学和华工科技

22年12月28日（校网），省科技厅书记冯艳飞，二级巡视员王东梅、高新处处长陈俊一行来华中科技大学调研光刻机领域（第一次看到华工科技大学研发光刻机新闻）技术攻关情况。副校长解孝林参加调研。机械学院陈学东、李小平、刘世元，武汉光电国家研究中心陆培祥、甘棕松，光电信息学院秦应雄等教授介绍了光刻机工作原理、国内外发展情况，湖北省现有研发基础等情况，对下步持续推进光刻机技术研发提出了意见建议。

备注：23年1月10日，“2022中国光学领域十大社会影响力事件（Light10）”年度榜单出炉。其中，机械学院刘世元教授团队成功研发了我国首款全自主计算光刻EDA软件，入围榜单。“OPC是芯片设计工具EDA工业软件的一种，没有这种软件，即使有光刻机，也造不出芯片。

这是明确光谷要搞光刻机。

华中科技大学有关联的硬科技企业华工科技与华中数控，估计与制造光刻机有很大缘分，华工科技可能性最大（华工控股股东是武汉国资委，并且领袖考察的企业；华中数控控股股东是民营资本）。

马总的公开讲话，还是很有韵味（2022年10月6日下午，马新强华中科技大学70周年校庆活动（第十四届华中科技大学企业家论坛）并作主题演讲：发展硬科技是我们与时代的双向奔赴。

讲话要点：面对着不断升维的竞争格局、复杂多变的政治经济环境，企业家群体更需要将自身和企业发展融入时代洪流，敢于打破常规，干以前没干过的事，干以前干不了的事、干不成的事。

举例就是提到阿斯麦是经过三十年的沉淀，才成就了今天的领先地位。台积电：长达三十年工艺经验的积累。

华工科技是否关注光刻机？前期迹象： 2020年5月27日回复投资者：一台先进的光刻机集合了很多国家先进技术，如美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等。激光光源虽然是核心部件，但先进光刻机核心技术其实是对曝光系统的精确控制，纳米级的制造高精度对准系统才是国产光刻机亟待突破的技术难点。

质子刀新闻

2022年12月30日，华中科技大学电气与电子工程学院学院网公布：电磁所承担的十三五重点研发计划“基于超导回旋加速器的质子放疗装备研发”项目中3项课题任务“束流输运与能量选择系统”（秦斌教授团队）、“治疗头与治疗终端系统集成”（谭萍研究员团队）、“放疗装备支撑系统”（樊宽军教授团队），本年度取得重要进展。

束流输运与能量选择系统。束流输运系统负责质子束从加速器引出后到各个治疗室终端的传递，需要解决束流稳定传输、能量精确调制等关键问题，是实现精准质子治疗的核心系统之一。2022年，课题组完成固定束线及首套旋转机架束线在我校质子中心的吊装入场与安装调试，实现8类共92台套磁铁、束测探针、真空室的集成装配与准直，达到全束线0.2mm准直精度要求；完成磁铁高精度电流源的现场安装与测试工作，全部电源均获得医疗设备电气安全及电磁兼容认证；自主研发了面向束流输运系统快速响应的分布式控制系统BCS及安全联锁系统，经测试具有良好的可靠性及设备安全性。这些工作为后续的回旋加速器入场及带束调试奠定良好基础。课题组针对质子治疗小型化趋势，开展了大动量接受度超导机架设计研究，在今年的“首届中国-日本粒子治疗技术创新与合作论坛”、“第二届中国肿瘤粒子治疗工程技术大会”、“International Workshop on Fixed Field alternating gradient Accelerators (FFA’22)”等国际及国内会议做受邀或口头报告，获得持续关注。

治疗头与治疗终端系统。治疗头是质子治疗装备中最靠近病人的束流控制和在线监测硬件，是最终实现精准癌症治疗并确保病人安全的核心部件。在国家重点研发计划课题的支持下，应用电磁工程研究所开展了铅笔束扫描治疗头及其三维适形剂量精确控制系统的研制工作，同时与治疗计划系统、图像引导系统、患者定位系统等进行了集成设计，为最终实现质子治疗安全与质量控制提供关键支撑。本年度已经在电气学院应用电磁所大楼实验室开展了第一套扫描治疗头的子系统集成调试，并完成了临床典型多层扫描计划的零剂量调试，在无束流条件下可根据治疗计划系统给定的扫描点和路径进行了扫描磁铁电流及磁场的控制与监测，测试验证了系统三维适形剂量精确控制的功能。在华中科技大学质子中心现场，我们进一步开展了第一套扫描治疗头与机架、患者定位等终端子系统的集成调试，完成了初步机械集成与旋转实验。

质子放疗装备支撑系统。质子放疗装备工艺支撑平台研制和质子加速器大楼辐射环评工作取得阶段性成果。工艺支撑平台主要为整个放疗装备提供稳定的温湿度环境、配电与接地、工艺冷却水、吊装等基础工艺条件支撑，目前已完成调试，并已为束流传输线、旋转机架、治疗头等核心装备进场、集成、调试提供了支撑，预计2023年初完成验收；加速器大楼辐射环评是整个项目基建工程建设与出束调试的前提条件，2022年完成了医学质子加速器研究与应用大楼辐射防护设计与环境影响评价报告，该项工作已通过由省生态环境厅组织的专家评审，预计于2023年初取得《辐射安全许可证》。

电气与电子工程学院学院网（质子刀关联人物介绍）：

70周年校庆师者风范：2022年11月21日：樊宽军（质子刀项目的首席专家）：加速器事业的追寻者，莘莘学子的指路人。

70周年校庆师者风范：2022年6月14日：樊明武（质子刀项目的领军人）：矢志不渝报国心 甘倾热血育桃李。

企业效益、经营局面：

   2023年1月12日：2022年度经营工作会，公开：2022华工科技实现了销售规模与净利润的逆势增长，各核心业务发展持续向好。

   市场上非常多的人担心四季度高比例发奖金，造成全年业绩低于三季度，这个潜在巨大的利空问题，已经不存在。

高科技企业经营：

对于要掌握核心技术的科技创新，是要烧钱的。所以国外、国内的大机构、大资金、大户对高科技企业持谨慎态度。在没见到效益时，上市公司股价低，是市场回避不了的状态。

创新，人才关键是关键。长光华芯首席科学家王俊以前曾在华工科技工作，后来去了苏州长光华芯继续搞芯片，取得重大成绩。这里面原因不明，但是待遇达不到预期，这个可以想到的，估计几年前经营体制的华工科技也是无耐。

但是现在的经济体制，马总也是找到了办法。例如锐科激光闫大鹏，通过上市，科技创新与国产替代，取得了两大方面的人生成就，向马斯克、比尔盖茨看齐。

现在的华日激光、云岭广电、纳多德、长光华芯，相关高技术专家经过努力，实现局部行业科技自立自强、国产替代，通过上市，实现人生价值的体现，华工在这个阶段也会有高额回报。

光谷背景：明确成为世界光谷，要有世界级的产业集群，世界级的科技企业。选定的科技领军企业（华工科技属于领军企业），是推动光谷成为世界光谷重要成员，领军企业的成败，重要性不言而喻。

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