华东科技:关于控股子公司BCE制程开发技术取得突破公告

裘末向

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公告日期：2017-07-29

证券代码：000727 证券简称：华东科技公告编号：2017-045南京华东电子信息科技股份有限公司关于控股子公司BCE制程开发技术取得突破公告本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。一、BCE技术开发的背景情况和基本情况目前超窄边框、高亮度、低功耗、低成本已经成为平板显示产品发展的主流方向，公司控股子公司南京中电熊猫平板显示科技有限公司（以下简称平板显示）现有IGZO制程技术所采用的TFT器件是ESL（Etching stop layer 刻蚀阻挡型结构）结构，该种结构可以保护IGZO TFT 器件的稳定性，但是增加了光罩数量和制程复杂性，同时器件所占版图空间较大，不利于实现更窄的边框设计和更高的开口率。为适应市场需求，平板显示于2017年2月启动了“非晶态IGZOBCE（Back channel etch 背沟道刻蚀型结构）制程量产工艺研究”项目，集中公司研发、工厂、采购等部门的精兵强将组建了项目团队，经过5个月努力，于2017年7月17日第一次试做15.6寸BCE面板即成功点亮，取得突破性进展。平板显示后续将展开BCE工艺的进一步优化。BCE是IGZOTFT器件的一种结构类型。与ESL结构相比，BCE结构有如下优点：1、有源沟道的定义只需一步光刻工艺，沟道尺寸定义精度高，易实现器件小型化；2、不需引入刻蚀阻挡层，制造成本低。二、意义和作用随着面板大型化和高精细化发展的趋势，传统的非晶硅TFT已经不能满足技术要求，而IGZO TFT具有电子迁移率高、均一性好、成本低等优点，被认为是将取代非晶硅TFT的下一代背板驱动技术。平板显示领先于业界展开IGZO技术布局，目前为内地唯一可大规模供货IGZO产品的企业。后续随着IGZO TFT背沟道蚀刻型结构（即BCE结构）的技术开发量产，将有利于降低产品成本,实现高端产品开发，增强IGZO技术的竞争力。平板显示15.6寸BCE面板点亮，进一步确立了公司在IGZO技术领域的领先位置。南京华东电子信息科技股份有限公司董事会2017年7月29日[点击查看原文][查看历史公告]

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