结论:公司深耕多年成长为高纯工艺系统龙头企业,能够提供整体解决方案。2015年公司开始布局清洗设备,拓展相关产业链,并于2017年取得较快进展。基于国内半导体设备未来几年保持高速增长,公司从厂务系统向设备进军,判断公司18-20的EPS分别为0.45/0.63/0.87元,基于行业水平给予18年50倍估值,对应目标价22.5元,首次覆盖给予增持评级。    全球半导体行业高景气,设备投资开启新一轮增长:①从终端需求看,17年全球半导体销售额为4122亿美元,同增21.6%,其中中国半导体销售额占全球比重达31.9%。②根据SEMI预计,2018年中国半导体设备支出将达到110.4亿美元,同比增速高达61.4%。根据我们的统计,19年仍将保持较高增速水平。③2017年泛半导体设备国产化率仅为16%,仍处于较低水平。在“政策+资金”双驱动下,国内半导体设备制造商有望崛起。    立足高纯工艺系统,切入清洗设备赛道:①公司高纯工艺系统收入保持高位,2017年为3.69亿,同比增长40.17%,毛利率39.02%,处于行业较高水平,具有较强的盈利能力。公司为高纯工艺系统稀缺标的,下游市场空间近300亿元。②2015年公司开始布局清洗设备,并于2017年取得较快进展,形成两款具有较强竞争力的湿法工艺设备。判断国内未来几年清洗设备市场空间也近300亿,目前公司已取得6台批量订单,未来有望在清洗设备赛道加速奔跑。    催化剂:半导体产业加速向大陆转移、公司切入清洗设备领域    风险提示:应收账款回收的风险

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